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本发明揭示一种晶片基座（ｐｅｄｅｓｔａｌ）。其中上述晶片基座是适用于一电浆反应室中承载一晶片，包含：一绝缘本体；一导体层，于上述绝缘本体上；以及一陶瓷盖板，至少覆盖部分该上述导体层。其中，在上述晶片基座承载上述晶片时，上述导体层完全被覆盖。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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