下载半导体结构的键合方法和半导体设备的技术资料

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本公开提供了一种半导体结构的键合方法和半导体设备,涉及半导体技术领域,该半导体结构的键合方法包括:提供具有相对设置的第一面和第二面第一半导体结构;对第一面或第二面进行处理,形成具有第一键合面的至少一个第一单体;对第一半导体结构进行扩片处理;...
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