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氮化物只读存储器的制造方法技术
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文档序号:3203036
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一种氮化物只读存储器的制造方法,包括下列步骤: 提供一半导体基材,所述基材表面包含有一记忆区域及一外围区域; 成长一垫氧层于所述半导体基材上; 于所述记忆区域内的所述垫氧层上形成具多个第一开口的第一屏蔽图案,以作为多条纵向...
该专利属于旺宏电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过旺宏电子股份有限公司授权不得商用。
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