下载具有至少一个存储节点的半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3202937

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一种半导体器件及制造该半导体器件的方法,适于防止在存储节点之间产生电桥,而不增加平面面积。在一个实施例中,半导体器件包括半导体衬底和形成在半导体衬底上的至少一个存储节点。该存储节点具有底部和从底部边缘向上延伸的侧壁。至少部分侧壁凹陷。...
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