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本发明确保曝光单元与基板的相对移动的直线性而减少曝光时的误差。一种曝光装置，该曝光装置具备：传送带，其输送基板；吸附部件，其使基板紧贴于传送带的上表面；曝光单元，其对基板进行曝光；以及引导部，其抑制传送带的与输送方向正交的方向上的位移。与输...
该专利属于株式会社奥珂制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社奥珂制作所授权不得商用。

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