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本发明涉及一种使用静电力吸附晶片Ｗ的静电吸盘１６，静电吸盘１６具有与晶片Ｗ相接触的多个突起部１６Ｃ，并且，由包含平均粒径为１～２μｍ的氧化铝结晶颗粒的陶瓷介电体１６Ａ构成突起部１６，同时，使突起部１６Ｃ的与晶片Ｗ接触的接触面形成为依存于粒径...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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