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本发明涉及一种具备压阻反馈的静电MEMS微镜及制造方法，包括衬底（1）、镜面（2）、定梳齿装置、两组动梳齿装置和两个压阻模块（3），通过压阻模块（3）上所设各金属电极（6）与对应扭转梁（4）之间惠斯通电桥的建立与应用，应用惠斯通电桥所具备检...
该专利属于苏州知芯传感技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州知芯传感技术有限公司授权不得商用。

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