温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在半导体处理系统（２）的端口机构（１６Ａ）中，在立壁（５２、５４）上形成的端口（１２Ａ）上设置滑门（２０Ａ）。在系统的外面靠近端口处设置台（４８）。在台上形成装载被处理基板（Ｗ）的开放型盒子（１８Ａ）的装载区（７６）。对台设置可转动的护罩（...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。