下载半导体器件中的节点接触结构及其制造方法的技术资料

文档序号:3201743

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静态随机存取存储器(SRAM)器件包括在具有源极/漏极区的半导体衬底上的体MOS晶体管、在体MOS晶体管上的绝缘层以及在体MOS晶体管上的绝缘层上的具有源极/漏极区的薄膜晶体管。器件还包括在体MOS晶体管与薄膜晶体管之间的多层栓塞。多层栓塞...
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