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提供了涂布技术和底漆材料。在示例性实施例中,涂布技术包括接收衬底和识别其上将形成层的衬底的材料。底漆材料分配在衬底的材料上,以及将成膜材料施加至底漆材料。底漆材料包括包含基于衬底材料的属性的第一基团和基于成膜材料的属性的第二基团的分子。衬底...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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提供了涂布技术和底漆材料。在示例性实施例中,涂布技术包括接收衬底和识别其上将形成层的衬底的材料。底漆材料分配在衬底的材料上,以及将成膜材料施加至底漆材料。底漆材料包括包含基于衬底材料的属性的第一基团和基于成膜材料的属性的第二基团的分子。衬底...