下载非易失半导体存储器件的制造方法的技术资料

文档序号:3201515

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制造一种AND快闪存储器,其中存储单元由半导体衬底的p型阱中形成的n型半导体区(源极和漏极)以及三个栅极(包括浮动栅极、控制栅极以及选择栅极)构成。在制造中,砷(As)引入到选择栅极的其中一个侧壁附近的p型阱内以形成n型半导体区(源极和漏极...
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