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纵型热处理装置（１）配置有在从处理室（５）的加载端口（４）取出被处理基板（Ｗ）之际，遮蔽加载端口（４）的快门装置（１７）。快门装置（１７）配置有选择性地关闭处理室（５）的加载端口（４）的端口盖（１８）。端口盖（１８）由配备有支撑它同时使其移...
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