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在控制装置ＭＣ中，存储在前一批中，最后进行处理的处理室ＰＭ（最终处理ＰＭ），当开始此次的批量处理时，从该最终处理ＰＭ时下一个处理室（例如最终处理ＰＭ为处理室ＰＭ１的情况下，为处理室ＰＭ２），开始搬入半导体晶片Ｗ。这样，可使各个处理部分的使用...
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