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半导体器件及其制造方法技术
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文档序号:3201097
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一种制造具有非易失性存储单元的半导体器件的方法,其包括形成作为存储单元的最上面/最外面部分的绝缘层,以提高存储单元的充电保持能力。绝缘层是在非易失性存储单元的栅极结构和栅极间电介质,以及逻辑晶体管的栅极形成之后形成的。因此,绝缘层增强了栅极...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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