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形成单一正向路径（第一基板输送路径），用于在正向输送基板以将基板输送到曝光装置上。形成分开的基板输送路径（第二基板输送路径），专用于后曝光烘烤（ＰＥＢ）。沿着每条路径进行基板输送，而与沿着另一条的基板输送无关。将第四主输送机构插入输送点之间...
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