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在本发明的第一方面中，提供了一种用于探测基片的装置。该装置包括（１）发射器／接收器单元，其适合于发射光束通过位于转移室内的基片；（２）反射器，其适合于接收从发射器／接收器单元发射的光束并向发射器／接收器单元反射该发射光束；和（３）控制器，其...
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