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本发明涉及一种碳化硅热处理装置和方法。热处理装置至少包括一个密封炉室、炉室内设置旋转加热平台、高频感应加热器和样品保护罩构成。采用高频感应加热法代替现有的电阻率加热；高频感应加热器对石墨圆板加热，石墨圆板旋转，１５００－１７００℃下恒温加热...
该专利属于河北工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过河北工业大学授权不得商用。

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