下载MEMS阵列、其制造方法以及MEMS器件制造方法的技术资料

文档序号:3200214

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通过在基板(1)上集成例如电阻(10)、电容(20)、线圈(30)那样的多个元件和连接各元件的开关(41~44),可以任意地连接各元件,形成MEMS阵列。开关(41~44)能够用晶体管开关或机械开关。能够用配线的短路/开路代替该MEMS阵列...
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