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本发明实施例提供一种半导体结构及其形成方法，半导体结构及其形成方法包括：提供晶圆，所述晶圆具有正面和与所述正面相对的背面；图形化所述晶圆的背面，形成自所述背面向所述正面延伸的凹槽；在所述凹槽底部和侧壁形成介质层；在所述介质层上形成填充所述凹...
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