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本发明提供通过将形成铸型图案的模具部件（４０）按压到在作为被加工物体的基板（５０）的主面上形成的膜被上，使铸型图案复印到膜被上的刻印方法。将多块基板（５０）固定在吸盘台（２０）上，并且可以用加热器（２１）和冷却管（２２）选择地加热基板。将模...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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