下载工件的分离搬送收纳装置的技术资料

文档序号:3198301

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本发明提供一种工件的分离搬送收纳装置,具有将从分割片状基板(100)而弄成长方形的工件(W)的分割装置(2)在大致正交于搬送方向的横向上且连接地搬出的上述工件(W),在搬送中横向地分离后,在与搬送方向大致相同的纵向上排列的分离排列搬送装置(...
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