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半导体衬底上边绝缘膜的布线区域上形成第１沟，电容区域上形成宽度比第１沟宽的第２沟。而且，淀积第１导体膜使其完全填埋第１沟，填埋第２沟到中途。进而，淀积电容绝缘膜使其填埋到第２沟的中途，其上淀积第２导体膜完全填埋第２沟。研磨第２导体膜、电容绝...
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