下载金属氧化物半导体晶体管和其制造方法的技术资料

文档序号:3197912

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本发明是一种金属氧化物半导体晶体管和其制造方法。所述金属氧化物半导体晶体管的制造方法,首先,提供一基底,基底上形成有栅极。以栅极为第一掩膜,布植基底。其后,形成至少两个第一间隙壁,分别邻接栅极的两侧。以栅极和第一间隙壁为第二掩膜,布植基底。...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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