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在一种制造双金属镶嵌互连的方法中，确保了可靠的沟槽轮廓。该方法包括：在衬底上形成下部互连部件，在下部互连部件上形成电介质层，在电介质层上形成硬掩模，通过使用硬掩模作为蚀刻掩模在电介质层中形成通孔，通过对硬掩模进行构图形成界定沟槽的沟槽硬掩模...
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