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涂布处理装置和涂布膜形成方法制造方法及图纸
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下载涂布处理装置和涂布膜形成方法的技术资料
文档序号:3197427
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一种涂布处理装置,在被处理基板上形成涂布膜,该涂布处理装置具有: 以大致水平姿势保持被处理基板的保持机构; 把规定的涂布液供给到由所述保持机构所保持的被处理基板的表面的涂布液供给机构; 使由所述保持机构所保持的被处理基板旋...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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