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一种单个可控元件阵列，包括由多行反射器组成的多个控制区。以相同的方式激励交替行的反射器，以便控制区用作光栅，以提供可以用作衍射光学元件的控制元件。...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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