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本发明提供一种半导体晶片,其具有形成于一基底的一集成电路区,并包含置于上述基底且邻近上述集成电路区的至少一晶片角落非电路区、与形成于上述晶片角落非电路区内的至少一查检记号。上述查检记号包含择自激光熔线标记、对准标记、与监控标记的结构。本发明...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体晶片,其具有形成于一基底的一集成电路区,并包含置于上述基底且邻近上述集成电路区的至少一晶片角落非电路区、与形成于上述晶片角落非电路区内的至少一查检记号。上述查检记号包含择自激光熔线标记、对准标记、与监控标记的结构。本发明...