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激光加工装置制造方法及图纸
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文档序号:3194242
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提供一种激光加工装置,具备可以检测出从激光束照射单元的聚焦器照射出的激光束线的聚焦点与高度位置检测单元的位置关系的功能。一种激光加工装置,具备:保持被加工物的吸盘平台、具有将激光束线照射保持在吸盘平台的被加工物用的聚焦器的激光束线照射单元、...
该专利属于株式会社迪斯科所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社迪斯科授权不得商用。
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