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薄膜晶体管阵列面板及其制造方法技术
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文档序号:3193208
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本发明提供了一种以有成本效益的方式来制造TFT阵列面板的方法。该方法包括:形成薄膜晶体管,各薄膜晶体管具有栅电极、源电极和漏电极;在薄膜晶体管上形成绝缘层;在绝缘层上形成电连接到漏电极的第一导电层;在第一导电层上形成第二导电层;形成包括第一...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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