温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

能够同时洗涤或漂洗晶圆的表面及背面并且能够确实防止已洗涤或漂洗过背面的洗涤用流体对表面造成重复污染。通过洗涤槽（２３）内的洗涤用流体洗涤或漂洗该洗涤槽中设置的晶圆（１）的洗涤装置（１１）包括：嵌接在装置主体（２９）上构成洗涤槽并且形成对应于...
该专利属于株式会社华祥所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社华祥授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。