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一种光掩膜，包括：夹持以线状延伸的中央遮光线部（５）从而实质上按照相同线宽并行的一对透光用开口图形（４）；和按照从宽度方向的两侧夹持该一对透光用开口图形（４）的方式进行配置的半透过区域。该半透过区域构成为具有使透过的光与透过透光用开口图形（...
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