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本发明提供了一种高精度且低成本的布图图案形成装置。该装置以（１００）晶向的单晶硅为母材，通过光刻工序形成具有斜面部和布图材料导引槽的梳齿部。以与形成导引槽相同的工序形成该梳齿部的各个梳齿共用的储存布图材料的储液部。在形成斜面部时，可以通过进...该专利属于奥克泰克有限公司;大日本网目版制造株式会社;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥克泰克有限公司;大日本网目版制造株式会社;东京毅力科创株式会社授权不得商用。