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本发明公开了一种离子源自动引束方法，包括如下步骤：（１）灯丝加热、稳定：将灯丝电源和阳极电源电压加至设定的数值，等待离子源真空稳定并达到送气真空标准；（２）送气：开启注入元素相应的送气阀门及总送气阀门，同时开启相应的流量计，并检测压力，观察...
该专利属于北京中科信电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京中科信电子装备有限公司授权不得商用。

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