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文档序号:3191001

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提供了一种能够采用硅锗作为pMOS源/漏扩展区、在源/漏上形成硅化物层、以及实现高速工作的半导体器件,包括经由绝缘体形成在半导体衬底的第一导电类型区域内的栅电极;形成在栅电极的侧面上的第一侧壁;形成在第一侧壁的侧面上的第二侧壁;形成在第二侧...
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