下载动态肖特基势垒MOSFET器件及其制造方法的技术资料

文档序号:3190209

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提供了一种用于调节电流的流动的器件及其制造方法。该器件包括与半导体衬底形成肖特基势垒或类肖特基结的金属-绝缘体-半导体的源极-漏极接触。该器件包括在半导体衬底和金属源极和/或漏极电极之间的界面层,从而可通过施加不同的偏置条件来动态地调节肖特...
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