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本实用新型属于化学气相沉积技术领域，具体公开了一种微波化学气相沉积法制备单晶金刚石用的沉积台，所述沉积台包括籽晶托、均温片、基座和支撑柱，所述基座的上顶面中心沿其中心轴方向内凹形成容纳所述均温片和籽晶托的片槽；支撑柱，所述均温片通过支撑柱设...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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