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本实用新型实施例公开了一种碳化硅晶体位错增强检测设备，包括图像采集器、上光源以及下光源，所述上光源设置在下光源的上方，且上光源和下光源之间形成供碳化硅晶体水平放置的区域，所述图像采集器设置在上光源的上方，并采集上光源于碳化硅晶体上的反射光图...
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