下载垂直滤色片传感器组及其制造所用的半导体集成电路制造方法的技术资料

文档序号:3187912

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通过半导体集成电路制造工艺在基片(最好是半导体基片)上形成一种垂直滤色片传感器组,该传感器组包括至少两个垂直堆叠的光敏传感器。本发明的其它方面是这种垂直滤色片传感器组所构成的阵列以及制造这种垂直滤色片传感器组及其阵列所用的方法。在一些实施例...
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