下载集成电路元件及其形成方法的技术资料

文档序号:3187774

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本发明公开一种集成电路元件及其形成方法,该集成电路包括:导电材料,部分嵌入介电层开口,其中该导电材料的侧壁及底部被第一阻挡层包覆;以及第二阻挡层,其包覆导电材料的顶部;其中该导电材料及第一阻挡层侧壁凸出至预定高度,该预定高度高于介电层的顶部...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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