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本发明涉及一种半导体结构,包括设置于半导体基板上的埋层,埋层为第一型掺杂。第一磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂。第二磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂;隔离结构设置于埋层上并设置于第一磊晶层与第二磊晶层之间,且该隔离结构为第一型掺杂。第一...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种半导体结构,包括设置于半导体基板上的埋层,埋层为第一型掺杂。第一磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂。第二磊晶层形成于埋层上,其为第二型掺杂;隔离结构设置于埋层上并设置于第一磊晶层与第二磊晶层之间,且该隔离结构为第一型掺杂。第一...