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一种半导体结构及其制造方法,其中该半导体结构包括:一基底;一第一低介电常数介电层,其覆盖该基底,包括一第一区以及一第二区;多个导电构件,其位于该低介电常数介电层内;一上盖层,其位于所述导电构件的至少一部分上;以及一介电上盖层,其覆盖该第一低...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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一种半导体结构及其制造方法,其中该半导体结构包括:一基底;一第一低介电常数介电层,其覆盖该基底,包括一第一区以及一第二区;多个导电构件,其位于该低介电常数介电层内;一上盖层,其位于所述导电构件的至少一部分上;以及一介电上盖层,其覆盖该第一低...