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本发明提供一种基板冷却装置，即使针对大型化的基板，也能够提高生产能力，同时能够确实地防止基板的变形和破损。基板冷却装置（２５）包括：滚动搬送机构（５），其为向一个方向搬送加热后的基板（Ｇ）的搬送路；和冷却结构（７），冷却由滚动搬送机构（５）...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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