基板冷却装置、基板冷却方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板冷却装置，即使针对大型化的基板，也能够提高生产能力，同时能够确实地防止基板的变形和破损。基板冷却装置（２５）包括：滚动搬送机构（５），其为向一个方向搬送加热后的基板（Ｇ）的搬送路；和冷却结构（７），冷却由滚动搬送机构（５）搬送的基板（Ｇ）。冷却机构（７）沿滚动搬送机构（５）从搬送方向的上游侧依次配置有预备冷却室（６５ａ）和主冷却室（６５ｂ），在预备冷却部（６５ａ）冷却加热后的基板（Ｇ），粗略除去基板（Ｇ）的热量，然后在主冷却部（６５ｂ）将该基板（Ｇ）冷却至规定的温度。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基板冷却装置，冷却加热后的基板，其特征在于：包括：搬送路，向一个方向搬送加热后的基板；和冷却机构，冷却在所述搬送路上搬送的基板，并且，所述冷却机构沿所述搬送路从搬送方向的上游侧依次配置有预备冷却部和主冷却部， 在所述预备冷却部冷却加热后的基板，粗略除去基板的热量，然后在所述主冷却部将该基板冷却至规定的温度。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：相马康孝，坂井光广，和田宪雄，八寻俊一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]