温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供能够提高检查基片的检查装置的吞吐量的检查装置和基片运送方法。检查装置包括：分别载置收纳基片的收纳容器第一、第二载置部；分别具有拍摄基片的拍摄单元的第一、第二检查部；设置有第一运送机构的第一运送区域，第一运送机构进行在载置于第一载置...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。