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垂直电子熔丝元件及其制备方法技术
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文档序号:31821842
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本公开提供一种垂直电子熔丝元件及该垂直电子熔丝元件的制备方法。该垂直电子熔丝元件具有一熔丝链,设置在一半导体基板上。该熔丝链的材料以及该半导体基板的材料为相同。该垂直电子熔丝元件亦具有一第一下阳极/阴极区以及一第二下阳极/阴极区,该第一下阳...
该专利属于南亚科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过南亚科技股份有限公司授权不得商用。
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