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形成纳米级导电结构的方法及由此形成的半导体器件技术
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下载形成纳米级导电结构的方法及由此形成的半导体器件的技术资料
文档序号:3182060
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一种形成纳米级结构的方法,包括提供一衬底,在其上具有第一层,该第一层具有露出衬底区域的开口,以及将衬底与催化材料接触,其中该衬底的露出区域具有吸引催化材料的第一性能,以及该第一层具有排斥催化材料的第二性能。...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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