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脆性部件的处理装置制造方法及图纸
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下载脆性部件的处理装置的技术资料
文档序号:3182051
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一种脆性部件的处理装置,它设置成进行以下的一系列处理,即将一个面上粘附有玻璃片的半导体晶片W装配到环形框RF之后,剥离玻璃片P,从而进行半导体晶片的转放,并将残留在该半导体晶片W表面的两面粘接胶片S剥离。转放装置20设置成在玻璃片P和半导体...
该专利属于琳得科株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过琳得科株式会社授权不得商用。
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