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本发明提供一种半导体结构的形成方法及半导体结构,包括:提供一半导体基底;形成一介电层于该半导体基底上;通过化学气相沉积法形成一附着层于该介电层上,其中该附着层包括一过渡层形成在该介电层上,且该过渡层至少具有一自该过渡层的底部至顶部逐渐改变的...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种半导体结构的形成方法及半导体结构,包括:提供一半导体基底;形成一介电层于该半导体基底上;通过化学气相沉积法形成一附着层于该介电层上,其中该附着层包括一过渡层形成在该介电层上,且该过渡层至少具有一自该过渡层的底部至顶部逐渐改变的...