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本发明提供一种半导体装置及其制造方法，该半导体装置包括：一基底；一介电层，形成于该基底上；一开口，形成于该介电层中；一第一阻障层，覆盖于该开口的侧壁；一第二阻障层，覆盖于该第一阻障层上与该开口的底部；以及一导电层，填入该开口。本发明所述的半...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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