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本发明的一个实施例提供了一种用于清洗表面的方法。所述方法包括，利用污染物释放装置将污染物从待清洗表面上至少部分地释放，以及利用污染物去除装置来捕获已被至少部分地释放的污染物，所述污染物去除装置产生至少一个用于收集已被至少部分地释放的污染物的...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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